真空燒結(jié)爐是一種瓷坯在真空條件下燒結(jié)的方法，氧化物陶瓷坯體的氣孔中含有的水蒸氣、氫、氧等氣體在燒結(jié)過(guò)程中借溶解、擴(kuò)散沿著坯體晶界或通過(guò)晶?？蓮臍饪字幸莩?。但其中的一氧化碳、二氧化碳，特別是氮，由于溶解度較低，不易從氣孔中逸出，致使制品內(nèi)含有氣孔，致密度下降。如將坯體在真空條件下燒結(jié)，則所有氣體在坯體尚未*燒結(jié)前就會(huì)從氣孔中逸出，使制品不含氣孔，從而提高制品的致密度。

　　在高溫和一定的真空度下，使具有一定形狀的陶瓷坯體經(jīng)物理化學(xué)過(guò)程變?yōu)橹旅?、?jiān)硬、體積穩(wěn)定、具有一定性能的燒結(jié)體。物理化學(xué)過(guò)程包括粘滯流動(dòng)、擴(kuò)散、蒸發(fā)、凝聚、新相形成、溶解和沉淀、固溶體產(chǎn)生等。在過(guò)程進(jìn)行中，粉末總表面能下降，宏觀上表現(xiàn)出坯體收縮，強(qiáng)度增加；微觀上表現(xiàn)為氣孔數(shù)量減少，氣孔形狀、大小改變，晶粒尺寸及形貌變化，晶粒長(zhǎng)大，晶界減少，結(jié)構(gòu)致密化。瓷坯中含有一定量的氣孔，其中水蒸氣、氫氣、氧氣能借助溶解和擴(kuò)散過(guò)程從封閉氣孔中逸出，一氧化碳、二氧化碳和氮?dú)獾扔捎谌芙舛容^低，不易從封閉氣孔中逸出。樣品置于真空條件下，施加一定的驅(qū)動(dòng)力，使氣體從封閉氣孔中逸出，能提高瓷件的致密度。爐內(nèi)壓力為負(fù)壓的條件下進(jìn)行的燒結(jié)稱為真空燒結(jié)。有間歇式真空燒結(jié)，也有連續(xù)式真空燒結(jié)。連續(xù)式真空燒結(jié)因?yàn)闋t子比較復(fù)雜，真空度不好保障，沒(méi)有辦法通人氣體，燒結(jié)工藝曲線不好調(diào)整等，應(yīng)用的很少。間歇式真空燒結(jié)有專門的真空燒結(jié)爐，配置配套的脫蠟爐；也有脫蠟—燒結(jié)一體爐。目前主流真空燒結(jié)是脫蠟（成型劑）和真空燒結(jié)在同一爐內(nèi)一次完成的一體爐。

　　真空燒結(jié)爐的主要優(yōu)點(diǎn)有哪些？

　　1、減少了有害成分，真空燒結(jié)爐減少了氣氛中有害成分（水、氧、氮）對(duì)產(chǎn)品的不良影響。例如要使電解氫氣中含水量只需真空度只要達(dá)到一定壓強(qiáng)就相當(dāng)于含水量為很難達(dá)到的露點(diǎn)。而銷量好的真空燒結(jié)爐獲得這樣的真空度相對(duì)容易。而且對(duì)于宜用還原性或惰性氣體作保護(hù)氣氛（如活性金屬的燒結(jié)），或不容易出現(xiàn)脫碳、滲碳的材料均可用真空燒結(jié)。

　　2、改良固相的性質(zhì)，真空可改善液相對(duì)固相的潤(rùn)濕性，有利于收縮和改善合金的組織。并且真空燒結(jié)有助于硅、鋁、鎂、鈣等雜質(zhì)或其氧化物的排除，起到凈化材料的作用。而且真空有利于排除吸附氣體、孔隙中的殘留氣體以及反應(yīng)氣體產(chǎn)物，對(duì)促進(jìn)燒結(jié)后期的收縮有明顯作用。如真空燒結(jié)的硬質(zhì)合金的孔隙度要明顯低于在氫氣中燒結(jié)的硬質(zhì)合金。

　　3、溫度要求低，真空燒結(jié)爐溫度比氣體保護(hù)燒結(jié)的溫度要低一些，如燒結(jié)硬質(zhì)合金時(shí)燒結(jié)溫度可降低很多溫度。這有利于降低能耗和防止晶粒長(zhǎng)大。并且真空燒結(jié)時(shí)通過(guò)嚴(yán)格控制真空度，即使?fàn)t內(nèi)壓力不低于燒結(jié)金屬組分的蒸氣壓，也可大大減少或避免燒結(jié)硬質(zhì)合金時(shí)出現(xiàn)鉆的揮發(fā)損失。